有机集成电路高精度加工获重大打破
日期：2025-08-26 08:25:48 阅读：1次 作者: 乐鱼体育在线官网
北京大学裴坚教授团队初次开宣布一类可光激活的掺杂剂前体分子，完成对有机高分子半导体导电性质的区域精准调控。该战略打破了传统化学掺杂办法在区域精度和可控性方面的约束，初次完成了有机高分子半导体亚微米级超高精度掺杂，并在此基础上完成有机集成电路的精准加工，标志着我国在半导体新材料范畴获得要害打破。相关研讨成果28日晚发表于世界学术期刊《天然》。
裴坚介绍，半导体技能是驱动信息革新的中心力气。在半导体集成电路制造的完好进程中，区域掺杂的空间精度直接决议晶体管功能、电路集成度及器材可靠性等要害目标。跟着器材标准不断缩小，对区域掺杂精度的要求也继续提高。但是，有机高分子半导体的传统掺杂战略，仍面对准确操控难、不足以满意高密度集成要求等问题。因而，缺少高精度区域掺杂技能，已成为限制有机高分子半导体在柔性显现、生物传感以及集成光电器材等前沿使用中的要害瓶颈。
通过多年研讨，裴坚团队立异开宣布的光控有机高分子半导体掺杂技能，在基础研讨和使用技能方面完成了许多中心打破：初次完成了有机高分子半导体掺杂进程的精准可控，且电导率最高提高9个数量级；现已成功使用于10余种典型有机高分子半导体，遍及完成电导率提高6个数量级，极大拓宽了有机高分子半导体的使用场景；该技能与现有半导体工业的光刻流程高度兼容，初次在有机高分子材料中完成亚微米标准的区域掺杂精度，为高功能有机集成电路的构建供给了要害支撑，具有重要的工艺可行性与工业转化潜力。
“可以说，这一研讨成果打破了该范畴的中心瓶颈，为有机集成电路微型化与高密度集成供给了要害技能支撑，有望推进柔性显现分辨率晋级，助力智能传感芯片灵敏度提高，加快有机集成电路的工业化进程。”裴坚表明。
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